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Le MEB de table PHENOM XL G2 repousse les limites en matière de technologie MEB compacte. D’une part, le XL G2 utilise les technologies innovantes des autres systèmes PHENOM. D’autre part, cet appareil est équipé d’une chambre d’analyse qui permet d’insérer des échantillons allant jusqu’à 100 mm x 100 mm. Un système unique de mise sous vide/chargement d’échantillon garantit le délai le plus court entre le chargement de l’échantillon et l’obtention de l’image MEB. En combinaison avec une nouvelle platine mobile selon 2 axes (X-Y), compacte et motorisée, il est possible de charger jusqu’à 36 échantillons en même temps pour des applications à flux élevé, après quoi, l’ensemble des échantillons peut être scanné. Un détecteur SE optionnel est également disponible.
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Le MEB de table PHENOM ProX est le système ultime tout-en-un d’imagerie et d’analyse par rayonnements X. Le ProX permet d’étudier en même temps la structure physique de l’échantillon et d’en déterminer la composition chimique grâce à son détecteur EDS spécifique. L’EDS est une technique qui utilise les rayonnements X générés par un faisceau d’électrons sur un échantillon. L’analyse d’éléments EDS est entièrement intégrée au PHENOM ProX et combinée en un seul module avec le détecteur de rayonnements X et le logiciel de commande. Le logiciel d’identification d’éléments (EID) peut être utilisé pour l’analyse d’un ou de plusieurs zones afin d’identifier les éventuelles contaminations sur un échantillon. En outre, les performances de ce logiciel peuvent être étendues au moyen d’un logiciel de cartographie d’éléments ou de balayage pour l’identification des éléments.
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