Systems micro - Import export

Le Système Modulaire de Manutention de Wafers facilite tous les processus de manipulation des wafers. Le chargement et le déchargement, le transport, la préhension, l'inspection, le tri et la séparation peuvent être effectués par un seul système. Au moyen de la technologie à ultrasons, le wafer maintient un écart dans l'ensemble du système modulaire. Cela évite des micro-rayures et la contamination. Caractéristiques du Système Modulaire de Manutention des Wafers: - Conception modulaire - Transport sans contact - Personnalisable selon les spécifications du client - Enchaînement de plusieurs processus dans le même système

Détection de l'inclinaison dans le champ gravitationnel au moyen de capteurs MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) avec numérisation et linéarisation ultérieure par commande Les capteurs MEMS sont des circuits intégrés fabriqués en micromécanique silicium en vrac. Des structures micromécaniques mobiles sont utilisées pour former des capacités doubles. Si ces structures sont déviées lors d'accélérations, par exemple lors d'accélérations dues à la gravité (g), il se produit des variations de capacité qui sont mesurées et traitées ultérieurement. La tension de sortie suit la fonction U ~ g * sin(α). L'angle α est ici l'angle d'inclinaison du capteur mesuré par rapport au vecteur g. Ces capteurs mesurent avec précision, ont une longue durée de vie et sont très robustes. Les axes de mesure fonctionnent indépendamment les uns des autres.

Enregistrement de l'inclinaison dans le champ gravitationnel au moyen de capteurs MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) avec numérisation et linéarisation ultérieure par contrôleur. Le capteur d'inclinaison dans le boîtier (modèle NBN 65) dispose d'un boîtier en aluminium stable (en option en acier inoxydable) et possède une grande résistance aux vibrations et aux chocs. Au choix, il est possible de choisir une ou deux fiches/prises pour la connexion CANopen. Des mesures d'empotage dans le boîtier permettent d'obtenir l'indice de protection IP 69K, par exemple pour une utilisation sous l'eau.

Le système de capteurs est destiné à être utilisé, par exemple, dans les éoliennes pour mesurer et évaluer les vibrations dans la tête de la tour. Mesure des accélérations dynamiques au moyen de capteurs MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) avec numérisation ultérieure par contrôleur. L'appareil se compose d'un capteur d'accélération, d'une unité de commande et de trois types d'interfaces de sortie. La sortie des données s'effectue via deux interfaces analogiques avec 4 .... 20 mA ainsi que CANopen et via 4 contacts relais (plus 1 contact relais d'erreur). Le NVA est paramétré via l'interface CANopen. Ceci n'est pas isolé électriquement. Le capteur dispose d'un circuit de filtrage contre les transitoires rapides et les surtensions sur l'alimentation jusqu'à 2kV. L'indice de protection est IP 69K (boîtier) et IP 67 (fiche/prise). Grâce à ses bonnes valeurs pour les vibrations et les chocs, le capteur est adapté à une utilisation dans des conditions environnementales difficiles.

Le capteur d'inclinaison NBT/S3 mesure l'inclinaison dans le champ gravitationnel au moyen de capteurs MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) avec numérisation et linéarisation ultérieure par contrôleur. Il est doté d'un boîtier en aluminium stable (en option en acier inoxydable) et d'une grande résistance aux vibrations et aux chocs. L'indice de protection IP 69K peut être obtenu par l'enrobage du boîtier. Le NBT/S3 dispose d'un système de mesure MEMS redondant avec lequel un test de synchronisation interne est effectué. Seule une date de position dont la plausibilité a été vérifiée à l'aide de la date de position du second système est éditée. Si l'écart dépasse une valeur limite, le capteur d'inclinaison passe en position de sécurité.

Enregistrement de l'inclinaison dans le champ gravitationnel au moyen de capteurs MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) avec numérisation et linéarisation ultérieure par contrôleur. La sortie des données s'effectue via l'interface CANopen ou sous forme de signal analogique. Le capteur d'inclinaison dispose d'un boîtier en aluminium stable (en option en acier inoxydable). Pour l'alignement mécanique (jusqu'à ± 7,5° environ), des trous oblongs sont prévus. En option, il est possible de choisir une fiche ou une fiche/prise pour la connexion CANopen. L'indice de protection IP 69K, par exemple pour une utilisation sous l'eau, est obtenu par des mesures d'empotage dans le boîtier.

Le système de capteurs est destiné à être utilisé, par exemple, dans les éoliennes pour mesurer et évaluer les vibrations dans la tête de la tour. Mesure des accélérations dynamiques au moyen de capteurs MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) avec numérisation ultérieure par contrôleur. L'appareil se compose d'un capteur d'accélération, d'une unité de commande et de l'interface de sortie PROFIsafe via PROFINET pour les données d'accélération. Grâce à sa grande résistance aux vibrations et aux chocs - même bien au-delà de la plage de mesure - le capteur est adapté à une utilisation dans des conditions environnementales difficiles. Le raccordement électrique s'effectue par trois fiches. 5 LEDs facilitent la mise en service et le diagnostic.