... matériaux d'électrode tels que Al, Au, Pt et verre métallique. Après l'assemblage, les membranes sont mises à jour par des processus d'amincissement et de gravure à l'aide de techniques de gravure sélective. La plateforme technologique est basée sur une taille de wafer de 6" et est continuellement développée. Des exemples actuels d'appareils incluent CMUT et PMUT pour des applications dans la...
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