SIGA GMBH

SIGA développe et construit des systèmes sur mesure pour mesurer, réguler et contrôler les flux de gaz, ainsi que pour évaporer et doser des précurseurs, complétés par des systèmes d'approvisionnement en précurseurs. Avec nos systèmes de gaz, vous pouvez doser un gaz ou plusieurs gaz ou précurseurs et les acheminer vers un ou plusieurs points d'utilisation. Les systèmes sont complétés par un contrôle assisté par ordinateur avec matériel et logiciel. La conception est réalisée selon vos souhaits sur la base de notre expérience. Nous proposons notamment des systèmes d'évaporation de précurseurs et des systèmes d'approvisionnement, des systèmes de brûleurs, des systèmes de conditionnement de filtres à charbon actif. Sont utilisés des régulateurs de débit massique MFC, des vannes, des filtres, des capteurs de pression, des capteurs de température, etc. Le domaine d'application est partout où des gaz sont utilisés dans des processus de fabrication, par exemple pour le dépôt de couches minces CVD. Certificat DIN EN ISO 9001 Systèmes de SIGA • Système d'évaporation de précurseurs ◦ Évaporateur pour un précurseur ◦ Évaporateur pour 2 ou plusieurs précurseurs ◦ Dosage liquide avec évaporation ultérieure • Systèmes d'approvisionnement en précurseurs • Systèmes de mélange de gaz • Systèmes de gaz pur • Stations de chargement AKF • Systèmes de brûleurs