Contrôle Séquentiel ou de Co-Dépôt Hautement Précis
Avec une électronique avancée, un affichage amélioré et un prix très abordable, la série INFICON SQC-310 vous offre des fonctionnalités introuvables sur les contrôleurs de films minces concurrents. Et vous pouvez choisir le modèle idéal pour votre application : dépôt séquentiel (SQC-310) ou co-dépôt (SQC-310C).
Entrées QCM : 2 (4 en option)
Plage de Fréquence de Mesure : 1,0 MHz minimum 6,5 MHz maximum
Résolution de Fréquence (1) : ± 0,012 Hz
Résolution/Mesure d'Épaisseur et de Taux (2) : ±0,015 Å
Stabilité de Fréquence : ± 2 ppm au total, 0 à 50°C
Intervalle de Mesure : 0,10 à 1,0 s (ajustable)
Affichage du Taux : 0,01 Å/sec
Stockage : 100 processus, 1000 couches, 50 films
Sorties de Contrôle : 2 (4 en option)
Signal de Sortie : ± 0 à 10 VDC, 15 bits
Entrées/Relais Numériques : 8/8 (16/16 en option)
Entrées Numériques : 5 VDC non isolées
Relais : SPST Forme 1A, 30V, 2A max
Interface(s) : RS-232 standard et USB (RS-232 et Ethernet en option)
Contrôle de Puissance à Distance : Optionnel (IPN 782-900-017)
Type : LCD couleur active matricielle 1/4 VGA 320 x 240
Graphiques : Taux, déviation, puissance ou écran numérique plein
Alimentation : 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W
Conformité : CE, RoHS
Logiciel Windows® : Inclus
Boîtier / Montage : 5 1/4" demi-rack
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