Traitement de surface par plasma | Tetra 45

Système de traitement de surface par plasma, basse pression, nettoyage au plasma

Descriptif

Les installations plasma de Diener electronic se sont imposées depuis longtemps dans les secteurs industriels les plus divers. Avec l'installation plasma basse pression Tetra 45, vous misez sur la technologie plasma à froid sous vide moderne et pérenne. Le volume de la chambre de env. 45 litres de ce système plasma offre suffisamment d'espace pour les fabrications en série / l'automatisation. Le traitement par plasma à basse pression est une technique éprouvée pour le nettoyage fin contrôlé, l'amélioration de l'adhérence (activation et gravure) et le revêtement de couches minces sur les surfaces de substrats. Le plasma est généré par l'utilisation d'une tension à haute fréquence dans la chambre à vide. Le gaz de traitement qui y est introduit est alors ionisé. Application : Nettoyage des résidus organiques sans COV Activation avant peinture, collage, encapsulage, ... Gravure du PTFE, de la laque photosensible, des couches d'oxyde, ... Revêtements hydrophobes et hydrophiles

Caractéristiques produit

Dimensions (appareil sur pied)
870 mm x 1700 mm x 1000 mm (LxHxP)
Chambre à vide (material)
Aluminium
Chambre à vide (dimensions)
env. 572 mm x 125 mm x 650 mm (LxHxP)
Chambre à vide (volume)
env. 45 litres
Chambre à vide (fermeture)
Porte à charnière, porte automatique
Alimentation en gaz
Débitmètres massiques (Mass-Flow-Controller (MFCs))
Mesure de pression
Pirani, Manomètre capacitif (pour version gaz corrosif)
Générateurs
80 kHz; 100 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz
Électrodes
Un ou plusieurs niveaux
Systèmes de commande
Basic PC (Win.CE), Full PC (Win.10 IoT)
Alimentation en tension
400 V / 50 - 60 Hz
Pompes à vide
Un ou plusieurs niveaux

Domain icon Fabricant/ Producteur

72224 Ebhausen - Allemagne

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